发明名称 用于清洗探针的基座
摘要 本实用新型提出了一种用于清洗探针的基座,包括:可置入盛有洗针溶液容器内的底座;自底座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部;该基座还包括:在底座与手持部的接触面具有若干个倾斜于该接触面、且向底座内延伸的固定孔;一部分内嵌于固定孔、另一部分伸出固定孔并折弯后垂直于接触面的套管,套管内可供直径处于预定尺寸范围内的探针插入、并使插入的探针折弯后固定于套管内。本实用新型还提供了另一种用于清洗探针的基座。采用本实用新型的基座,插入基座的套管内的探针折弯后固定于基座的套管内,且直径处于预定尺寸范围内的探针都可被套管固定,本实用新型的基座能够固定多种尺寸的探针,具有较佳的兼容性。
申请公布号 CN201516434U 申请公布日期 2010.06.30
申请号 CN200920210174.5 申请日期 2009.09.25
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 崔立超
分类号 B08B13/00(2006.01)I;B08B3/12(2006.01)I 主分类号 B08B13/00(2006.01)I
代理机构 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人 王一斌;王琦
主权项 一种用于清洗探针的基座,包括:可置入盛有洗针溶液容器内的底座;自所述底座并沿垂直于该底座的方向延伸有一手持部;其特征在于,该基座还包括:在所述底座与所述手持部的接触面具有若干个倾斜于该接触面、且向所述底座内延伸的固定孔;一部分内嵌于所述固定孔、另一部分伸出所述固定孔并折弯后垂直于所述接触面的套管,所述套管内可供直径处于预定尺寸范围内的探针插入、并使插入的探针折弯后固定于所述套管内。
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