一种微小尘埃的测量方法

摘要

本发明涉及一种微小尘埃的测量方法，优选用于真空环境微小尘埃的测量，属于传感器技术领域。具体实现步骤是：选取粘性材料，均匀涂敷在石英晶片的表面并进行处理，制得用于测量微小尘埃的粘性膜石英晶片，将所述粘性膜石英晶片安装到粘性石英晶体微量天平(SQCM)的探头中，再将所述探头放入真空室内，分别测得粘性膜石英晶片空载时和堆积微小尘埃SQCM的频率，根据二者频率变化计算出沉积微小尘埃的质量，计算公式为：Δm＝-K×Δf，K是粘性材料的粘度系数，Δf是SQCM的频率变化量。本发明解决了石英晶体微量天平不能直接用于测量微小尘埃和不能测量真空中微小尘埃的问题，测试设备结构简单可靠，测量精度高。

主权项

一种微小尘埃的测量方法，其特征在于包括下列步骤：步骤一、将粘性材料溶于有机溶剂中，配成0.01g/ml～0.1g/ml的溶液；步骤二、将步骤一所制得的溶液均匀涂敷在石英晶片表面，得到用于测量微小尘埃的粘性膜石英晶片；步骤三、将步骤二中制得的粘性膜石英晶片放在温度50℃～80℃，湿度10％～30％的恒温恒湿箱中处理40～60小时，得到处理好的粘性膜石英晶片；步骤四、将处理好的粘性膜石英晶片安装到粘性石英晶体微量天平(SQCM)的探头中，再将所述探头放入真空室内，抽真空，使真空度小于10-3Pa；步骤五、用晶体阻抗计测量粘性膜石英晶片上无待测物情况下，即空载时，所述粘性石英晶体微量天平的频率；步骤六、打开真空环境中的扬尘装置，用晶体阻抗计测量所述粘性石英晶体微量天平的频率，与步骤五中测得的粘性膜石英晶片空载时粘性石英晶体微量天平的频率相比较，得到粘性石英晶体微量天平的频率变化，根据频率变化计算出沉积微小尘埃的质量，计算公式为：Δm＝-K×Δf，K是粘性材料的粘度系数，Δf是粘性石英晶体微量天平的频率变化量。