一种直拉单晶隔热装料方法及其装置

摘要

本发明公开了一种直拉单晶隔热装料方法，该方法按照以下步骤具体实施：1)单晶炉拆炉后，将主室炉筒、主保温筒和石墨加热器等炉体及热场石墨器件上的挥发物打扫干净；2)在主保温筒上端面安放隔热大盖；3)将石墨坩埚及石英坩埚依次放置于石墨托杆上，开始装入单晶原料；4)装料完毕后，在石英坩埚上盖上护料盖；5)再将隔热大盖取出，去掉护料盖，即可合炉抽空加热，开始下一炉次的单晶拉制。本发明还公开了一种隔热装料装置，其中的隔热大盖选用固态石墨毡、硅酸铝陶瓷纤维制品、硅酸钙制品或石墨制品。本发明的方法及其装置，通过增加隔热大盖的设置，阻隔热场挥发气流，在不冷却热场情况下实现装料过程；有效防止掉料事故发生。

主权项

一种直拉单晶隔热装料方法，其特征在于，该方法按照以下步骤具体实施：步骤1、单晶炉拆炉后，操作人员穿戴好防护用具，采用耐高温清扫工具，将主室炉筒(9)、主保温筒(8)和石墨加热器(4)等炉体及热场石墨器件上的挥发物打扫干净；步骤2、在主保温筒(8)上方安放隔热大盖(1)，用于将热场中向上挥发的热气流阻隔，所述的隔热大盖(1)为一圆盘形状，与主室炉筒(9)的内壁接触放置，隔热大盖(1)的外径与主室炉筒(9)的内径相适应，隔热大盖(1)的中心挖有与石墨坩埚(7)外径相等的圆孔(10)；步骤3、将石墨坩埚(7)及石英坩埚(6)依次放置于石墨托杆(5)上，然后在石英坩埚(6)中装入单晶原料；步骤4、装料完毕后，在石英坩埚(6)上盖好护料盖(2)，所述的护料盖(2)沿圆周设置有护沿(11)，护沿(11)的内径大于石英坩埚(6)的外径，护沿(11)的外径小于石墨坩埚(7)的外径；步骤5、再将隔热大盖(1)取出，去掉护料盖(2)，合炉，开始下一炉次的单晶拉制。