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发明名称 MEMS SCANNING MICROMIRROR WITH REDUCED DYNAMIC DEFORMATION
摘要
申请公布号 EP2201421(A1) 申请公布日期 2010.06.30
申请号 EP20080835670 申请日期 2008.10.02
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 KRASTEV, KRASSIMIR, T.;VAN LIEROP, HENDRIKUS, W., L., A., M.;SOEMERS, HERMANUS, M., J., R.;SANDERS, RENATUS, H., M.
分类号 G02B26/08 主分类号 G02B26/08
代理机构 代理人
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