采用复合模的声表面波压力传感器

摘要

一种传感器技术领域的采用复合模的声表面波压力传感器，包括：蘑菇状加压帽、硬心球壳导压金属膜片、金属导力柱、过压保护装置、金属外壳侧壁、导力顶针片、导力筒、石英悬臂梁式敏感元件、底壳、过压保护装置，其中：硬心球壳导压金属膜片、金属外壳侧壁和底壳组成一个气密性容器，硬心球壳导压金属膜片的上表面通过金属导力柱与蘑菇状加压帽相连，其下表面固定着一枚导力顶针片，导力顶针片与导力筒刚性相连，在导力筒内部设有石英悬臂梁式敏感元件，石英悬臂梁式敏感元件的一端通过玻璃粉料与导力筒的盲孔端面相连，另一端利用玻璃粉料与金属外壳侧壁的盲孔结合。本发明的灵敏度比常规表面波传感器高15倍以上，适宜汽车轮胎压力的无线监测。

主权项

一种采用复合模的声表面波压力传感器，其特征在于，包括：蘑菇状加压帽、硬心球壳导压金属膜片、金属导力柱、金属外壳侧壁、导力顶针片、导力筒、石英悬臂梁式敏感元件、底壳、过压保护装置，其中：硬心球壳导压金属膜片、金属外壳侧壁和底壳组成一个气密性的容器，硬心球壳导压金属膜片的上表面通过金属导力柱与蘑菇状加压帽相连，其下表面固定着一枚导力顶针片，导力顶针片与导力筒刚性相连，在导力筒内部设有石英悬臂梁式敏感元件，石英悬臂梁式敏感元件的一端通过玻璃粉料与导力筒的盲孔端面相连，另一端通过玻璃粉料与金属外壳侧壁的盲孔结合，过压保护装置设置在底壳的内表面上。