发明名称 | 折射率分布测量方法和折射率分布测量设备 | ||
摘要 | 一种折射率分布测量方法和折射率分布测量设备。所述方法包括下述步骤:通过将参考光引入被浸入到具有第一折射率的第一介质中的检测对象来测量检测对象的第一透射波前,所述第一折射率比检测对象的折射率低0.01或更多;通过将参考光引入被浸入到具有第二折射率的第二介质中的检测对象来测量检测对象的第二透射波前,所述第二折射率比检测对象的折射率低0.01或更多并且与第一折射率不同;以及基于第一透射波前的测量结果和第二透射波前的测量结果来获得检测对象的折射率分布。 | ||
申请公布号 | CN101762376A | 申请公布日期 | 2010.06.30 |
申请号 | CN200910262248.4 | 申请日期 | 2009.12.22 |
申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 加藤正磨 |
分类号 | G01M11/02(2006.01)I | 主分类号 | G01M11/02(2006.01)I |
代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 杜娟 |
主权项 | 一种折射率分布测量方法,所述方法包括下述步骤:通过将参考光引入被浸入到具有第一折射率的第一介质中的检测对象来测量该检测对象的第一透射波前,所述第一折射率比检测对象的折射率低0.01或更多;通过将参考光引入被浸入到具有第二折射率的第二介质中的检测对象来测量该检测对象的第二透射波前,所述第二折射率比检测对象的折射率低0.01或更多并且与第一折射率不同;以及基于第一透射波前的测量结果和第二透射波前的测量结果来获得检测对象的折射率分布。 | ||
地址 | 日本东京 |