| 发明名称 | 离子管 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种排列有多个离子束引出孔的离子管，使得离子束电流密度变得均匀。该离子管具有由阴极(10)和阳极(20)构成的等离子体生成构件，以及从由等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子束的栅极(30)，阴极由架设于一对丝电极(13)之间的丝极(12)构成，栅极具有平行地排列在丝极上的多个离子束引出孔(31)，包含该丝极的两端部(12a)的单位空间内的发热量比包含该丝极的部(12b)的单位空间内的发热量大。 | ||
| 申请公布号 | CN101764020A | 申请公布日期 | 2010.06.30 |
| 申请号 | CN200910262401.3 | 申请日期 | 2009.12.18 |
| 申请人 | 株式会社昭和真空 | 发明人 | 长田佑介;盐野忠久 |
| 分类号 | H01J27/02(2006.01)I | 主分类号 | H01J27/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 谢丽娜;关兆辉 |
| 主权项 | 一种离子管，具有由阴极(10)和阳极(20)构成的等离子体生成构件，以及从由该等离子体生成构件生成的等离子体中引出离子束的栅极(30)，其特征在于，该阴极由架设于一对丝电极之间的丝极(12)构成，该栅极具有平行地排列在该丝极上的多个离子束引出孔(31)，包含该丝极的两端部(12a)的单位空间内的发热量比包含该丝极的中央部(12b)的单位空间内的发热量大。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县 | ||