发明名称 利用沟道热电子实现SONOS存储单元写操作的方法
摘要 本发明公开了一种利用沟道热电子实现SONOS存储单元写操作的方法,通过使存储器晶体管工作在饱和靠近击穿端,产生足够的沟道电流和横向电场,从而在沟道靠近漏区由于横向电场作用,产生足够多的热电子注入到栅绝缘层中的氮化硅中,实现存储单元电荷的存储。该方法能提高改变SONOS存储单元的写状态,提高存储器写的速度。
申请公布号 CN101763896A 申请公布日期 2010.06.30
申请号 CN200810044172.3 申请日期 2008.12.24
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 陈广龙
分类号 G11C16/10(2006.01)I;G11C16/30(2006.01)I 主分类号 G11C16/10(2006.01)I
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人 顾继光
主权项 一种利用沟道热电子实现SONOS存储单元写操作的方法,其特征在于,在SONOS工艺中采用沟道热电子注入,通过使存储器晶体管工作在饱和靠近击穿端,产生足够的沟道电流和横向电场,从而在沟道靠近漏区由于横向电场作用,产生足够多的热电子注入到栅绝缘层中的氮化硅中,实现存储单元电荷的存储。
地址 201206 上海市浦东新区川桥路1188号