发明名称 |
利用沟道热电子实现SONOS存储单元写操作的方法 |
摘要 |
本发明公开了一种利用沟道热电子实现SONOS存储单元写操作的方法,通过使存储器晶体管工作在饱和靠近击穿端,产生足够的沟道电流和横向电场,从而在沟道靠近漏区由于横向电场作用,产生足够多的热电子注入到栅绝缘层中的氮化硅中,实现存储单元电荷的存储。该方法能提高改变SONOS存储单元的写状态,提高存储器写的速度。 |
申请公布号 |
CN101763896A |
申请公布日期 |
2010.06.30 |
申请号 |
CN200810044172.3 |
申请日期 |
2008.12.24 |
申请人 |
上海华虹NEC电子有限公司 |
发明人 |
陈广龙 |
分类号 |
G11C16/10(2006.01)I;G11C16/30(2006.01)I |
主分类号 |
G11C16/10(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 31211 |
代理人 |
顾继光 |
主权项 |
一种利用沟道热电子实现SONOS存储单元写操作的方法,其特征在于,在SONOS工艺中采用沟道热电子注入,通过使存储器晶体管工作在饱和靠近击穿端,产生足够的沟道电流和横向电场,从而在沟道靠近漏区由于横向电场作用,产生足够多的热电子注入到栅绝缘层中的氮化硅中,实现存储单元电荷的存储。 |
地址 |
201206 上海市浦东新区川桥路1188号 |