测量平面内多轴移动和转动的方法及其装置

摘要

测量平面内多轴移动和转动的方法及其装置，该方法包括采用一悬浮件，一固定件，在该悬浮件上设有多个感应电流线圈，在该固定件周边设有多个驱动电极；上述多个驱动电极与上述感应电流线圈有部分区域重叠；在该些驱动电极中通入电流以形成多个磁场，当悬浮件发生移动时，该些感应电流线圈中的磁通量发生改变，从而产生感应电流；利用该些感应电流，测量出外部运动。本发明可以同时测量平面内多轴线性加速运动和转动，并且感测效果精准。

主权项

一种测量平面内多轴移动和转动的方法，其特征在于：该方法包括采用一悬浮件，一固定件，在该悬浮件上设有多个感应电流线圈，在该固定件周边设有多个驱动电极；上述多个驱动电极与上述感应电流线圈有部分区域重叠；在该些驱动电极中通入电流以形成多个磁场，当悬浮件发生移动时，该些感应电流线圈中的磁通量发生改变，从而产生感应电流；利用该些感应电流，测量出外部运动。