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发明名称
Vaporisation device for molecular beam vaporisation and molecular beam epitaxy
摘要
申请公布号
EP1970474(B1)
申请公布日期
2010.06.30
申请号
EP20080003282
申请日期
2008.02.22
申请人
CREATEC FISCHER & CO. GMBH;FORSCHUNGSVERBUND BERLIN E.V.
发明人
BRAUN, WOLFGANG;FISCHER, ALBRECHT
分类号
C30B23/06;C23C14/24;C23C14/56
主分类号
C30B23/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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