发明名称 一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板
摘要 一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板,涉及晶体生长热场结构,主要用于晶体生长用坩埚上的坩埚盖板,其特征在于:所述坩埚盖板内壁在沿中心点处向外延伸,每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度。有益效果是将坩埚盖板内侧面制成非等厚,改变了热辐射、热对流和热传导,使得固液界面的温度分布到达工艺的要求,提高了晶体的尺寸和质量。
申请公布号 CN101760783A 申请公布日期 2010.06.30
申请号 CN200910196353.2 申请日期 2009.09.25
申请人 上海元亮光电科技有限公司 发明人 黄小卫
分类号 C30B35/00(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 主分类号 C30B35/00(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板,主要用于晶体生长用坩埚上的坩埚盖板,其特征在于:所述坩埚盖板内壁在沿中心点处向外延伸,每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度。
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