发明名称 | 一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板 | ||
摘要 | 一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板,涉及晶体生长热场结构,主要用于晶体生长用坩埚上的坩埚盖板,其特征在于:所述坩埚盖板内壁在沿中心点处向外延伸,每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度。有益效果是将坩埚盖板内侧面制成非等厚,改变了热辐射、热对流和热传导,使得固液界面的温度分布到达工艺的要求,提高了晶体的尺寸和质量。 | ||
申请公布号 | CN101760783A | 申请公布日期 | 2010.06.30 |
申请号 | CN200910196353.2 | 申请日期 | 2009.09.25 |
申请人 | 上海元亮光电科技有限公司 | 发明人 | 黄小卫 |
分类号 | C30B35/00(2006.01)I;C30B11/00(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I | 主分类号 | C30B35/00(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种可以调节固液界面温度梯度的坩埚盖板,主要用于晶体生长用坩埚上的坩埚盖板,其特征在于:所述坩埚盖板内壁在沿中心点处向外延伸,每个同心圆环的圆环面制有不同的厚度。 | ||
地址 | 201800 上海市嘉定区马陆镇嘉戬公路328号6幢底层 |