通孔电阻测量结构及方法

摘要

本发明提出通孔电阻测量结构及方法，以提高测量效率及质量。该结构包括：多条互连线，所述多条互连线相互垂直，分别处于集成电路中互不相同的金属层，且宽度及材质相同，各个互连线上均设置有多个电阻测量点；以及通孔，通孔的顶部和底部分别连接有一条互连线，其中所述通孔与互连线的连接端位于互连线的线端，连接端由互连线覆盖。

主权项

一种通孔电阻测量结构，其特征在于，包括：多条互连线，所述多条互连线相互垂直，分别处于集成电路中互不相同的金属层，且宽度及材质相同，各个互连线上均设置有多个电阻测量点；以及通孔，通孔的顶部和底部分别连接有一条互连线，其中所述通孔与互连线的连接端位于互连线的线端，连接端由互连线覆盖。