| 发明名称 | 一种三氯氢硅尾气变压吸附设备及其工艺 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种三氯氢硅尾气变压吸附设备及其工艺，吸附设备包括解析气换热器，所述解析气换热器上设有原料气进气管和出气管，在出气管上连接有吸附装置，吸附工艺包括以下步骤，原料尾气首先进入解析气换热器，换热后进入加热器加热后温度控制在70℃±2℃，然后再进入吸附装置进行吸附，吸附后的净化氢气由净化气管道出来，由管道送至HCL合成系统重新参加HCL合成，吸附后的解吸气通过解析气管道进入解析气换热器，换热后，进入解析气缓冲罐，由压缩机送至三氯氢硅合成系统中，重新回收利用。 | ||
| 申请公布号 | CN101757831A | 申请公布日期 | 2010.06.30 |
| 申请号 | CN201010112675.7 | 申请日期 | 2010.02.10 |
| 申请人 | 山东新龙硅业科技有限公司 | 发明人 | 李法曾;杨秀玲;丁培杰;宋宝东;苗乃芬;李法山;王建民;杨国堂 |
| 分类号 | B01D53/047(2006.01)I;C01B33/107(2006.01)I;C01B33/03(2006.01)I | 主分类号 | B01D53/047(2006.01)I |
| 代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人 | 李江 |
| 主权项 | 一种三氯氢硅尾气变压吸附设备，包括解析气换热器(1)，所述解析气换热器(1)连通有原料气进气管(11)和出气管(12)，其特征在于：在出气管(12)上连通有吸附装置。 | ||
| 地址 | 262700 山东省寿光市王高新龙工业园 | ||