一种减小提拉法生长晶体内部热应力的后加热器装置

摘要

本发明采用后加热器装置替代目前常用的单层或多层氧化铝、氧化锆保温筒。该后加热器装置是采用氧化锆纤维加工成的定型上保温罩，上保温罩有内外两层氧化锆纤维筒组成，两层之间埋入热铬铝高温电阻加热丝。在晶体生长前期，电阻加热丝不工作加热；当生长的晶体大部分进入上保温罩时，加热丝开始加热，在上保温罩内部形成一个温度梯度较小的退火区间，使得晶体头部和尾部的温度梯度较小，保证整根晶体在相对较等温的空间内退火，从而起到降低晶体内部热应力的效果。晶体生长退火完毕后可以直接进行定向和切割，不需要炉外长时间退火，不但大大降低了晶体内部应力，减少内部缺陷，还大大提高效率，且装置结构简单，制作成本低，适合批量生产。

主权项

一种减小提拉法生长晶体内部热应力的后加热器装置，其特征在于：该后加热器装置是采用氧化锆纤维加工成的定型上保温罩，上保温罩有内外2层氧化锆纤维筒组成，两层之间埋入热铬铝高温电阻加热丝，通过调节加热丝的加热功率，提供一个附加热源，在上保温罩内部形成一个温度梯度相对小的退火空间，使得晶体头部和尾部的温度梯度较小，从而起到了降低晶体内部热应力的效果。