一种用于金属深度刻蚀的固体激光器

摘要

本发明涉及一种用于金属深度刻蚀的固体激光器，结构如下：氪灯驱动电源分别与声光驱动电源和泵浦氪灯连接成回路，声光调Q晶体与声光驱动电源连接成回路，激光工作物质和泵浦氪灯安装在聚光腔内，激光工作物质、声光调Q晶体、全反镜、输出镜安装在同一条激光光路上，所述的氪灯驱动电源向氪灯输出的调制电流为：在一个泵浦周期内，先注入氪灯一个较低电流且此电流值低于激光器的阈值电流，并维持一段时间t1，然后电流值发生突变，突变后电流值高于激光器的阈值电流，并逐渐增大直至下一个周期开始，周期T＝t1+t2。本发明在同一台固体激光器中，可选择高脉冲激光能量输出或选择高脉冲峰值功率输出，满足金属激光刻蚀的需求。

主权项

一种用于金属深度刻蚀的固体激光器，由激光工作物质、泵浦氪灯、聚光腔、声光调Q晶体、全反镜、输出镜、氪灯驱动电源、声光驱动电源组成，氪灯驱动电源分别与声光驱动电源和泵浦氪灯连接成回路，声光调Q晶体与声光驱动电源连接成回路，激光工作物质和泵浦氪灯安装在聚光腔内，激光工作物质、声光调Q晶体、全反镜、输出镜安装在同一条激光光路上，其特征在于：所述的氪灯驱动电源向氪灯输出的调制电流为：在一个泵浦周期内，先注入氪灯一个较低电流且此电流值低于激光器的阈值电流，并维持一段时间t1，然后电流值发生突变，突变后电流值高于激光器的阈值电流，并逐渐增大直至下一个周期开始，周期T＝t1+t2。