一种石英坩埚涂钡工艺及其产品

摘要

本发明涉及一种石英坩埚涂钡工艺及其产品，石英坩埚涂钡工艺步骤包括：在18英寸到28英寸坩埚石墨模具中加入石英砂，在转数为80-105转/分钟的模具旋转过程中，加热升温达到2400-2900℃；石英砂在模具旋转离心力作用下熔化成型，然后用振动器振动；用石英管向模具内导入70-3500克化合钡，在高温下和坩埚内壁石英砂反应，生成厚度为0.04-1mm的硅酸钡；待坩埚冷却后在氢氟酸液体中浸泡除杂，再用纯水冲洗，在无尘室内净化风干包装。经涂钡的坩埚产品在1420℃的高温状态下长期使用，不会变形；能有效使用50-180小时，使炼出来的单晶硅棒长度增加25％左右。

主权项

一种石英坩埚涂钡工艺，其特征在于，石英坩埚涂钡工艺步骤包括：在18英寸到28英寸坩埚石墨模具中加入石英砂，在转数为70-150转/分钟的模具旋转过程中，加热升温达到2400-2900℃；石英砂在模具旋转离心力作用下熔化成型，然后用振动器振动；用石英管向模具内导入70-3500克化合钡，在高温下和坩埚内壁石英砂反应，生成厚度为0.04-1mm mm的硅酸钡；待坩埚冷却后在氢氟酸液体中浸泡除杂，再用纯水冲洗，在无尘室内净化风干包装。