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发明名称 SINGLE BODY INJECTOR AND DEPOSITION CHAMBER
摘要
申请公布号 EP1017873(B1) 申请公布日期 2010.06.30
申请号 EP19980933329 申请日期 1998.07.10
申请人 SILICON VALLEY GROUP THERMAL SYSTEMS LLC 发明人 MILLER, ADAM, Q.;DOBKIN, DANIEL, M.
分类号 C23C16/44;C23C16/00;C03B19/14;C03C17/00;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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