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发明名称 SOLID STATE MICROANEMOMETER DEVICE AND METHOD OF FABRICATION
摘要
申请公布号 EP2201336(A1) 申请公布日期 2010.06.30
申请号 EP20080837158 申请日期 2008.10.08
申请人 MEMSYS, INC. 发明人 PLOWMAN, THOMAS, E.;JEWETT, WARREN, R.
分类号 G01F1/684;G01F1/688;G01F1/692 主分类号 G01F1/684
代理机构 代理人
主权项
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