加热元件

摘要

本发明公开了流体喷射装置加热元件(112/412/612/812/822)的实施例。

主权项

一种制造打印头的加热元件(112/412/612/812/822)的方法，所述方法包括：在衬底(151)上一对间隔开的第一导电元件和第二导电元件(178，179/478，479/678，679/840A，840B/850A，850B)之间形成电阻盘(226/526/726/826)，所述电阻盘具有第一宽度，其中，每个相应的第一导电元件和第二导电元件都限定了以下各项中至少一个：第二宽度(W6)，其明显小于所述电阻盘的第一宽度(W7)；或者台阶形图案，其包括：大致平坦的部分(182/482/682)，其限定了暴露所述衬底的内部窗口(184/484)，并且具有第一厚度；倾斜部分(178，179/478，479/678，679)，其从所述大致平坦的部分向外延伸，并且具有的第二厚度明显大于所述大致平坦的部分的第一厚度；以及其中所述电阻盘在所述大致平坦的部分的内部窗口中延伸；以及在所述电阻盘以及所述相应的第一导电元件和第二导电元件上方形成钝化层(300)；以及在所述钝化层上方形成流体腔室(240/530)，所述流体腔室包括喷射所述流体的孔口。