发明名称 |
ABERRATION-CORRECTING CATHODE LENS MICROSCOPY INSTRUMENT |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1994544(B1) |
申请公布日期 |
2010.06.30 |
申请号 |
EP20070756958 |
申请日期 |
2007.02.14 |
申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
TROMP, RUDOLF, M. |
分类号 |
H01J37/05;G01N23/20;G01N23/227;H01J37/153 |
主分类号 |
H01J37/05 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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