| 摘要 |
Eine Anordnung zur Dekontamination eines Reinraums (1) umfasst eine H 2 O 2 -Beaufschlagungseinrichtung (2) zum Beaufschlagen des Reinraums (1) mit H 2 O 2 und eine H 2 O 2 -Abbaueinrichtung (10) zum Bewirken eines chemischen Abbaus von H 2 O 2 ohne Katalysator im Reinraum (1). Die H 2 O 2 -Abbaueinrichtung (10) umfasst einen Vorratsbehälter (11), in dem gasförmiges Agens gespeichert ist, das über eine Gasleitung (13) in den Reinraum (1) einbringbar ist, wo es mit dem H 2 O 2 reagiert. In der Gasleitung (13) ist ein Ventil (12) angeordnet, mit dem die Menge des in den Reinraum (1) eingebrachten gasförmigen Agens gesteuert bzw. reguliert werden kann. Dadurch, dass das überschüssige H 2 O 2 , d.h. das H 2 O 2 , das während der Dekontamination im Reinraum (1) nicht mit anderen Stoffen reagiert hat, im Reinraum (1) selbst abgebaut wird, muss es nicht zuerst vollständig aus dem Reinraum (1) herausgespült und danach abgebaut werden. |
