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发明名称
摘要
申请公布号	JP4493596(B2)	申请公布日期	2010.06.30
申请号	JP20050507388	申请日期	2003.07.31
申请人		发明人
分类号	H01L21/822;H01L21/02;H01L21/76;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06	主分类号	H01L21/822
代理机构		代理人
主权项
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