APPARATUS FOR BLANKING A CHARGED PARTICLE BEAM,申请号IL20060179663-传众专利搜索

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发明名称	APPARATUS FOR BLANKING A CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号	IL179663(A)	申请公布日期	2010.06.30
申请号	IL20060179663	申请日期	2006.11.28
申请人	NANOBEAM LIMITED	发明人
分类号	G03F7/00;G21K1/087;H01J9/14;H01J37/04;H01J37/09;H01J37/147;H01J37/15	主分类号	G03F7/00
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