| 发明名称 |
VERTICAL FIELD EFFECT TRANSISTORS INCORPORATING SEMICONDUCTING NANOTUBES GROWN IN A SPACER-DEFINED PASSAGE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL177126(A) |
申请公布日期 |
2010.06.30 |
| 申请号 |
IL20060177126 |
申请日期 |
2006.07.27 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/78;H01L27/28;H01L51/30 |
主分类号 |
H01L21/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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