一种液相外延法制取薄膜的装置

摘要

一种液相外延法制取薄膜的装置，涉及一种外延生长设备。其包括：一阀室，阀室内装有一升降旋转轴；一炉室，位于阀室的下方；一坩埚，位于炉室内；一用来加热所述坩埚内原料的加热装置；其特征在于：还包括一石墨花篮，所述的石墨花篮位于炉体内，可在阀室内及炉室内上下运动，石墨花篮上端与升降旋转轴可拆卸连接。本发明可一次装入多片衬底片于花篮的上下夹板之间，可一次性生产多个外延片；花篮可随着升降旋转轴旋转，使衬底片周围各处溶液浓度均匀，消除了温度场不均匀带来的生长差异，生长出来的外延片厚度均匀。

主权项

一种液相外延法制取薄膜的装置，包括：一副室，副室上装有一升降旋转轴；一阀室，阀室内装有一升降旋转轴；一炉室，位于阀室的下方；一坩埚，位于炉室内；一用来加热所述坩埚内原料的加热装置；其特征在于：还包括一上端与升降旋转轴下端连接的石墨花篮，所述的石墨花篮位于炉体内，可在阀室内及炉室内上下运动。