发明名称 一种用于强温室气体SF<sub>6</sub>分解的方法
摘要 本发明属废气处理技术领域,具体涉及一种将介质阻挡放电技术应用于温室气体SF6分解的废气处理工艺技术。本发明通过介质阻挡放电反应池,利用双介质阻挡放电技术分解处理SF6,所述的反应池采用纯石英材质,以直径大小不一的外管和内管石英管作为介质,外管上开有旁通支路,用于补充水气。内电极紧贴于内管内壁由不锈钢片卷成筒状,外电极由细长不锈钢条缠绕外管壁。被处理气体由内外石英管间隙通过,由于气体不直接接触气体,从而避免了电极腐蚀问题。该SF6分解处理新工艺系统结构紧凑,能效高,处理效果好,具有很好的应用前景。
申请公布号 CN101757840A 申请公布日期 2010.06.30
申请号 CN200810207621.1 申请日期 2008.12.23
申请人 复旦大学 发明人 张仁熙;宋潇潇;刘新刚;侯惠奇
分类号 B01D53/74(2006.01)I;B01D53/68(2006.01)I 主分类号 B01D53/74(2006.01)I
代理机构 上海正旦专利代理有限公司 31200 代理人 包兆宜
主权项 一种用于强温室气体SF6分解的方法,其特征在于该方法通过介质阻挡放电反应池,利用介质阻挡放电技术分解处SF6,采用的放电形式为双介质阻挡放电;所述的介质阻挡放电反应过程通过以下的反应式:e+SF6→SFx+(6-x)F+e (x≤5) (1)SF5+OH→SOF4+HF (2)SF4+OH→SOF3+HF (3)SOF3+OH→SO2F2+HF (4)SF5+H→SF4+HF (5)。
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