摘要 |
<p>Zarízení je tvoreno komorou (10), vodivou uzemnenou rovinnou elektrodou (3) spojenou s jedním potenciálem a soustavou elektrod (4) spojených s opacným potenciálem. Do komory (10) je z jedné strany zaústen zdroj (7) akustických vln a z druhé strany posuvný reflektor (2), který má ve svém stredu otvor (1) pro odvod zpracovávaného plynu. Posuvný reflektor (2) je spojen s posuvným mechanismem (11) pro nastavení jeho polohy v komore (10). Stred uzemnené vodivé rovinné elektrody (3) je umísten v komore (10) ve vzdálenosti (.lambda./4) od posuvného reflektoru (2) tj. v uzlu akustického tlaku. Soustava elektrod je tvorena vícejehlovou elektrodou (4), která je situována symetricky proti stredu vodivé rovinné elektrody (3) a která sestává z rady jehel umístených v rovine, která prochází osou komory (10). Všechny tyto jehly jsou elektricky vodive spojeny pres spolecný odpor (5) s vysokonapetovým zdrojem (6).</p> |