测量平面内多轴移动和转动的方法和装置

摘要

本发明提供一种测量平面内多轴移动和转动的方法和装置。该方法包括一基材，一悬浮件以及若干斜向支撑件。该基材具有一中空区域，该悬浮件通过斜向支撑元件悬浮于该区域上，并可在x-y平面做移动和转动。利用MEMS技术在该基材和悬浮件之间形成若干电容，当悬浮件在x-y平面内做运动时，可改变该些电容的电容值，从而达到测量的目的。

主权项

一种测量平面内多轴移动和转动的方法，其特征在于：该方法包括采用一固定件，一悬浮件，在固定件或者悬浮件上设置多组相对电极以形成多个电容，利用悬浮件在一平面内做多轴移动或转动，改变上述电容值，再利用该些电容的变化，测算出该外部运动。