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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD.
摘要
申请公布号 NL2003962(A) 申请公布日期 2010.06.28
申请号 NL20092003962 申请日期 2009.12.16
申请人 ASML NETHERLANDS B.V., 发明人 ONVLEE, JOHANNES;KUIT, JAN JAAP;KOS, JOOST
分类号 G03F7/20;G03F9/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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