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发明名称 METHOD FOR METAL SILICATE FILM FORMATION AND RECORDING MEDIUM
摘要
申请公布号 KR100966388(B1) 申请公布日期 2010.06.28
申请号 KR20087008582 申请日期 2006.09.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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