发明名称 METHOD OF DETECTING ETCHING DEPTH
摘要
申请公布号 KR100966391(B1) 申请公布日期 2010.06.28
申请号 KR20010003816 申请日期 2001.01.26
申请人 发明人
分类号 C23F4/00;H01L21/66;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
地址