| 摘要 |
1. Устройство для направления пучка ионов вдоль, по существу, непрерывной оси пучка по меньшей мере в одном поле, создающем силу, действующую на ионы в указанном пучке ионов, содержащее ! по меньшей мере одну секцию, которая содержит, по существу, плоский пластинчатый многополюсник, имеющий верхнюю плоскую пластину и нижнюю плоскую пластину, причем указанная сила, по существу, симметрична в параллельном направлении или, по существу, асимметрична в перпендикулярном направлении относительно плоскости, в которой находится ось пучка, ! каждая из указанных пластин, а именно верхняя плоская пластина и нижняя плоская пластина, содержит первые электродные полосы, к которым приложены соответствующие потенциалы и которые генерируют по меньшей мере часть указанного по меньшей мере одного поля, ! а граница краевого поля расположена на каждом конце указанной по меньшей мере одной секции, и указанные первые электродные полосы выполнены, по существу, тонкими и плоскими. ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что указанная верхняя плоская пластина и указанная нижняя плоская пластина расположены, по существу, параллельно или наклонно относительно указанной плоскости в указанной по меньшей мере одной секции, причем экстраполированная линия пересечения указанной верхней плоской пластины и указанной нижней плоской пластины, по существу, перпендикулярна оси пучка ионов. ! 3. Устройство по п.1, отличающееся тем, что указанная по меньшей мере одна секция содержит по меньшей мере одну секцию, в качестве которых указаны прямая секция и изогнутая секция, которая изогнута в указанной плоскости, причем прямые секции указанной по мен� |
