| 发明名称 |
SOLUTION SELECTIVE POUR LE POLISSAGE MECANO-CHIMIQUE ET PROCEDE L'UTILISANT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2879618(B1) |
申请公布日期 |
2010.06.25 |
| 申请号 |
FR20050013118 |
申请日期 |
2005.12.22 |
| 申请人 |
ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS, INC. |
发明人 |
BIAN JINRU |
| 分类号 |
C09G1/02;H01L21/306;H01L21/3105 |
主分类号 |
C09G1/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
