| 摘要 |
<p>L'invention concerne un procédé de descente en pression dans un sas de chargement et de déchargement d'équipement depuis une pression atmosphérique vers une pression de transfert sub-atmosphérique, ledit sas comportant une enceinte dans laquelle on dispose au moins un substrat à pression atmosphérique, ledit procédé comportant : - une première étape (101) dans laquelle on réalise un premier pompage primaire depuis la pression atmosphérique jusqu'à un premier seuil caractéristique, à travers une pompe primaire dont le débit de pompage est limité, tout en isolant un pompage turbomoléculaire de ladite enceinte, - une deuxième étape (102) consécutive à ladite première étape (101) dans laquelle on réalise un second pompage primaire, plus rapide que dans ladite première étape, jusqu'à un deuxième seuil caractéristique, en maintenant l'isolement du pompage turbomoléculaire et, - une troisième étape (103) consécutive à ladite deuxième étape (102), dans laquelle on réalise un pompage secondaire à travers ledit pompage turbomoléculaire en amont du pompage primaire et on isole l'enceinte du pompage primaire. L'invention concerne également un équipement pour la mise en oeuvre du procédé.</p> |
