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Es wird eine Bestrahlungsvorrichtung 1 mit einer Arbeitsstrahlungsquelle 3, welche zur Bestrahlung eines Objekts 2 mit einer Arbeitsstrahlung 5 ausgebildet ist, mit einer Ablenkeinrichtung 6, welche als eine aktive Strahlführungs- und/oder -formungseinrichtung für die Arbeitsstrahlung 5 ausgebildet und/oder angeordnet ist, mit einer Messstrahlungsquelle 4, welche zur Ausgabe einer Messstrahlung 12 ausgebildet ist, die zumindest zeitweise auf das Objekt gerichtet und/oder richtbar ist, und mit einer Empfangseinrichtung 13, welche zum Empfang der von dem Objekt zurückgeworfenen Messstrahlung (12) ausgebildet ist, vorgeschlagen, wobei die Messstrahlung 12 über die Ablenkeinrichtung (6) geführt wird und/oder ist.
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