| 发明名称 |
Verfahren zur Plasmaerzeugung durch kapazitive gleichmässige Entladungen und Implementierungsvorrichtung dafür |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60044387(D1) |
申请公布日期 |
2010.06.24 |
| 申请号 |
DE2000644387 |
申请日期 |
2000.10.17 |
| 申请人 |
ST PLASMAS |
发明人 |
LAGARDE, THIERRY;PELLETIER, JACQUES |
| 分类号 |
H05H1/24;H05H1/46;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H05H1/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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