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发明名称
ung in einem Plasmareaktor
摘要
申请公布号
DE602007006397(D1)
申请公布日期
2010.06.24
申请号
DE200760006397T
申请日期
2007.10.26
申请人
APPLIED MATERIALS INC.
发明人
WHITE, JOHN M.;YE, ZHIFEI
分类号
H01L21/68;H01J37/32;H01L21/00
主分类号
H01L21/68
代理机构
代理人
主权项
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