发明名称 FERROELECTRIC MEMORY DEVICE, PROCESS FOR PRODUCING THE SAME, AND PROCESS FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100964834(B1) 申请公布日期 2010.06.24
申请号 KR20087004810 申请日期 2005.09.01
申请人 发明人
分类号 H01L27/105 主分类号 H01L27/105
代理机构 代理人
主权项
地址