流量制御ユニット

摘要

【課題】Ｎ個の流路を流れるガスの圧力を測定することができる流量制御ユニットを提供する。【解決手段】流量制御ユニットであって、流路ブロック２０には、Ｎ（Ｎ≧２）個の流路が形成されるとともに、センサ付プリント基板１２には、Ｎ個の圧力センサ１０が実装されており、Ｎ個の筒形状のアダプタ３０を備え、アダプタ３０の貫通孔３１には、流体導入口が上方から挿入され、流路ブロック２０の測定孔２２の段差面２２ａには、アダプタ３０の下面が上方から載置されることを特徴とする。【選択図】図１