首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 PLASMAÄTZVERFAHREN
摘要
申请公布号 DE69942372(D1) 申请公布日期 2010.06.24
申请号 DE19996042372 申请日期 1999.10.22
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 SAITO, TAKESHI;NAGASEKI, KAZUYA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;C23F4/00;H01L21/311;H05H1/46 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com