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发明名称 METHOD FOR FABRICATING DIELECTRIC LAYER WITH TANTANLUM OXIDE AND METHOD FOR FABRICATING CAPACITOR USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100965771(B1) 申请公布日期 2010.06.24
申请号 KR20070044309 申请日期 2007.05.07
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L27/108 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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