微机电感应电容电压的转换装置

摘要

本发明提供了一种微机电感应电容电压的转换装置，用以将微机电组件上所感应的模拟电压转换成数字信号，所述转换装置包括模拟至数字转换器、参考电压电路以及控制器，通过模拟至数字转换器的积分器与比较器，利用参考电压电路产生所需的参考电压，配合控制器所产生的开关信号，进而产生数字信号，同时可与微机电组件整合到单一芯片内以构成微机电系统单芯片。

主权项

一种微机电感应电容电压的转换装置，用以将一微机电组件的一微机电感应电容电压转换成一数字信号，其特征在于，所述转换装置包括一第一级积分器、一比较器以及至少一第二级积分器，其中，所述第一级积分器产生一输出信号，所述第二级积分器接收所述第一级积分器的所述输出信号并产生一输出信号，所述比较器接收所述第二级积分器的所述输出信号并产生数字信号。