发明名称 |
四晶体管CMOS图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种四晶体管CMOS图像传感器,在浮置扩散电容区的一部分形成有一个N区完全耗尽的P-N-P结,且该P-N-P结的内建电势比光电二极管的内建电势要高。本发明还公开了一种四晶体管CMOS图像传感器制造方法,在浮置扩散电容区的P衬底上进行P阱注入;在光电二极管区的P衬底进行N-注入,在浮置扩散电容区的P阱进行N注入,所述N的浓度大于N-浓度;在光电二极管区的进行N-注入的区域表面进行P+注入,形成一个N区完全耗尽的P-N-P结,并在浮置扩散电容区的进行N注入的区域的一部分表面进行P+注入,使浮置扩散电容区的该部分区域形成一个N区完全耗尽的P-N-P结。本发明改善了四晶体管CMOS图像传感器对强光的相应,增加了动态范围。 |
申请公布号 |
CN101752392A |
申请公布日期 |
2010.06.23 |
申请号 |
CN200810044038.3 |
申请日期 |
2008.12.02 |
申请人 |
上海华虹NEC电子有限公司 |
发明人 |
陈华伦;熊涛;陈瑜;陈雄斌;罗啸 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01)I;H01L21/822(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 31211 |
代理人 |
周赤 |
主权项 |
一种四晶体管CMOS图像传感器,包括光电二极管区、浮置扩散电容区,其特征在于,在浮置扩散电容区的一部分形成有一个N区完全耗尽的P-N-P结,且该P-N-P结的内建电势比光电二极管的内建电势要高。 |
地址 |
201206 上海市浦东新区川桥路1188号 |