检查装置和检查方法及检查装置用传感器

摘要

本发明提供一种检查装置，在检查对象为导体的情况时，可以以非接触和良好的精度检测该检查对象的状态。设置有传感器板组其包含有：纵向较长形状的供电传感器板20，定位在离开被施加有交流检查信号的作为检查对象导体的导体图案15指定距离的位置，用来提供检查信号；纵向较短形状的检测传感器板30，可以被定位在接近导体图案15的检查信号检测部位，用来检测导体图案15的检查信号；将多组的传感器板组定位，使传感器板位置成为交替(交错)的位置，对于该导体图案15，可以用各组的传感器板组进行检查。

主权项

一种检查装置用传感器，是使用在能以非接触检查被施加交流检查信号的检查对象导电体状态的检查装置，其特征在于，具备有：第一传感器板组，包含有：供电传感器板，能够定位在接近检查对象导体的信号提供部位，用来对上述检查对象导体提供交流检查信号；检测传感器板，能够定位在接近被上述供电传感器板提供有检查信号的上述检查对象导体的检查信号检测部位，用来检测上述检查对象导体的检查信号；第二传感器板组，能够配合上述第一传感器板组的供电传感器板的定位位置，定位和配置第二传感器板组的检测传感器板的同时，配合上述第一传感器板组的检测传感器板的定位位置，定位和配置第二传感器板组的供电传感器板；使上述第一或第二传感器板组的上述供电传感器板和上述检测传感器板的任一方，成为与上述检查对象导体的面对面积形成纵向较长的传感器板的同时，使另外一方成为与上述检查对象导体的面对面积形成纵向较短的传感器板。