| 主权项 |
一种干涉测量方法，包括：在一定照明角度的范围内将测试光指向第一校准表面，并且将从第一校准表面射回的测试光与参考光结合以形成干涉图案，其中，来自第一校准表面的测试光与参考光源自共同光源；将来自第一校准表面的结合光的至少一部分指向多组件检测器，使得检测器的不同组件通过测试光对应于第一校准表面的不同照明角度；在一定照明角度的范围内将测试光指向不同于第一校准表面的第二校准表面，并且将从第二校准表面射回的测试光与参考光结合以形成干涉图案，其中，来自第二校准表面的测试光与参考光源自共同光源；将来自第二校准表面的结合光的至少一部分指向多组件检测器，使得检测器的不同组件通过测试光对应于第二校准表面的不同照明角度；以及基于对从第一和第二校准表面出射的测试光、由检测器的不同组件测量的干涉信号和有关第一和第二校准表面的其它信息来确定有关干涉测量系统的信息，其中：有关干涉测量系统的信息包括与下列至少其中一个相对应的信息：共同光源的频谱分布、与平行于入射面的偏振状态相比的垂直于入射面的偏振状态的相对衰减、穿过干涉测量系统的光瞳面的照明的频谱分布的变化、穿过干涉测量系统的光瞳面的照明的平均强度的变化、穿过干涉测量系统的光瞳面的照明的相位的变化、以及穿过干涉测量系统的光瞳面的照明的频谱强度的变化。 |
