发明名称 |
激光加工状态检查方法及装置以及太阳能电池板制造方法 |
摘要 |
本发明可在加工时检查激光束的光轴状态及激光束的输出状态,且能早期检测激光束加工状态,而据此早期反馈激光束加工时的条件,减少不合格产生率。本发明是,照射激光束对工件实施加工,随后立即获取工件的加工部位的图像,并根据此图像来检查加工状态。根据本发明,将基于激光束加工才结束后的图像来实时地辨识激光束的加工状态,并将该状态反馈使加工条件最佳化,明显减少不合格产生率。本发明中,检查激光束的光轴偏移、脉冲宽度、脉冲高度(激光功率)、漏脉冲之中的至少一个,来作为激光加工时的激光束状态,且将提取机构配置在激光束的光路中,分叉提取一部分激光束,由光接收机构来接收经分叉提取后的激光束,并据此光接收信号来进行检查。 |
申请公布号 |
CN101752462A |
申请公布日期 |
2010.06.23 |
申请号 |
CN200910246242.8 |
申请日期 |
2009.12.01 |
申请人 |
株式会社日立高科技 |
发明人 |
下田勇一;荒木正树 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;B23K26/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 |
代理人 |
寿宁;张华辉 |
主权项 |
一种激光加工状态检查方法,其特征在于:照射激光束来对工件实施加工,随后立即获取所述工件的加工部位的图像,且根据所述图像检查加工状态。 |
地址 |
日本东京港区西新桥1丁目24番14号 |