图像传感器及其制造方法

摘要

本发明提供了一种图像传感器及其制造方法。该图像传感器包括读出电路、互连件、图像感测器件、第一导电类型离子注入层和通路插塞。在第一衬底中形成读出电路。在第一衬底上方形成互连件。互连件电连接至读出电路。然后在互连件上方形成图像感测器件。图像感测器件包括第一导电类型导电层和第二导电类型导电层。在图像感测器件的第二导电类型导电层的一部分中形成第一导电类型离子注入层。通路插塞穿透第一导电类型离子注入层和第一导电类型导电层，从而将第一导电类型导电层电连接至互连件。

主权项

一种图像传感器，包括：位于第一衬底中的读出电路；位于所述第一衬底上方的互连件，所述互连件电连接至所述读出电路；位于所述互连件上方的图像感测器件，所述图像感测器件包括第一导电类型导电层和第二导电类型导电层；位于所述图像感测器件的所述第二导电类型导电层的一部分中的第一导电类型离子注入层；以及穿透所述第一导电类型离子注入层和所述第一导电类型导电层的通路插塞，所述通路插塞将所述第一导电类型导电层电连接至所述互连件。