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发明名称
摘要
申请公布号 JP4488935(B2) 申请公布日期 2010.06.23
申请号 JP20050069657 申请日期 2005.03.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L29/78;H01L21/336;H01L27/04;H01L29/06 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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