一种半导体晶圆金属保护液及其使用方法

摘要

本发明公开了一种半导体晶圆金属保护液及其使用方法。这种半导体晶圆金属保护液包含水、缓蚀剂，所述的缓蚀剂为硼酸和/或硼酸盐。这种半导体晶圆金属保护液可以显著抑制碱性清洗液对半导体晶圆中金属图案和金属基材的腐蚀，价格便宜，对环境友好，其使用方法操作简便，在半导体晶圆制造等微电子领域具有良好的应用前景。

主权项

一种半导体晶圆金属保护液，含有水和缓蚀剂，其特征在于，所述的缓蚀剂为硼酸和/或硼酸盐。