一种工艺控制的方法和装置

摘要

本发明公开了一种工艺控制方法和装置，该方法包括：选取当前工艺下的历史数据样本，所述历史数据样本包括当前工艺的光谱强度数据和待预测参数；依据所述历史数据样本，构建以光谱强度数据为输入变量，以待预测参数为输出变量的预测模型；基于该预测模型，对本次工艺过程进行控制。本发明通过选取针对同一工艺(如，待控制的当前工艺)的历史数据样本，构建合适的预测模型，以避免现有技术简单预测的缺陷，或者仅仅依靠实时光谱数据所带来的误差。

主权项

一种工艺控制方法，其特征在于，包括：选取当前工艺下的历史数据样本，所述历史数据样本包括当前工艺的光谱强度数据和待预测参数；依据所述历史数据样本，构建以光谱强度数据为输入变量，以待预测参数为输出变量的预测模型；基于该预测模型，对本次工艺过程进行控制。